有機ELディスプレイ(OLED)用パネル製造工程概要※本資料は個人の学習用として制作されたものであって、内容の信憑性については保証しません。下記のような流れになります。 1. 研磨ガラス 2. ITO成膜(スパッタ) 3. ITO研磨 4. 金属膜(補助電極)成膜(Crなど) 5. ITO電極形成 6. 絶縁膜形成 7. 陰極隔壁形成 8. 基盤前処理 9. ホール輸送層成膜 10. 発光層成膜 11. 電子輸送層成膜 12. 陰極形成(有機材料は露光できないため、真空蒸着により成膜する。仕事関数の小さいLi、Mgが使用される) 13.(密閉用缶→乾燥剤取付→封止材塗布) 14. 重ね合わせ 15. 封止材硬化 16. ガラスカット 17. ACF仮圧着TAB圧着 18. 偏光板貼りあわせ 19. 外周封止 20. 検査
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